三維形狀測量機(jī)是一種可以測量亞微米級表面形狀的儀器。

亞微米是低于微米的級別，1微米是1/1,000毫米。 3D 形狀測量機(jī)能夠捕捉零件的三維形狀并執(zhí)行各種測量。

它還用于測量電子元件板和半導(dǎo)體的表面粗糙度、高度和厚度。其特點是速度快、分辨率高、精度高。

此外，根據(jù)安裝方法和測量方法的不同，三維形狀測量機(jī)有多種類型。按安裝方式有固定式、便攜式等，按測量方式有接觸式、非接觸式，有激光跟蹤儀、測繪儀等。

三維形狀測量機(jī)的應(yīng)用

三維形狀測量機(jī)的應(yīng)用如下：

1. 線性粗糙度測量

3D形狀測量儀可以像觸針式表面粗糙度儀一樣測量典型的表面粗糙度參數(shù)，例如Ra和Rz。

2. 表面粗糙度測量

通過測量整個表面，3D形狀測量機(jī)可以高精度地測量波紋度和表面間的水平差異。具體示例包括墊圈波紋度評估和塊規(guī)臺階測量。

3. 平面測量

它用于測量兩點之間的距離、直線、圓心之間的距離以及許多其他平面測量。它被用于醫(yī)療設(shè)備、考古、成型和鐘表行業(yè)等多個行業(yè)。